| 根据中国中化控股有限责任公司科技成果登记管理办法，按照科技成果管理程序，现将中国中化控股有限责任公司登记的成果予以公告。对公告上登记的科技成果内容持有异议者，可与中国中化控股有限责任公司科技成果登记中心联系。其管理有效期（自公告之日起）为期7天。 |
| 地址：北京市朝阳区安外小关街53号，中国化工信息中心NAST部 邮编：100029 |
| 联系人：殷茵 吴翠翠 |
| 联系电话：010-64438591 64413470 |
| 公告日期：2020年7月16日 |
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研究起止时间： |
2015.01至2017.12 |
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成果评价单位： |
河南省科技厅 |
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成果推荐单位： |
中国昊华化工（集团）总公司 |
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成果简要说明： |
三氟化氮作为优良的等离子蚀刻气体和反应腔的清洗剂，在半导体芯片、液晶显示器、光纤领域的需求量保持快速增长的趋势。为提高黎明院三氟化贫产品的竞争力，解决目前存在生规模小、产品稳定性不足、工艺连续性有待提高的问题，我院开展电子级三氟化氮产业化发项目，主要研究内容：化学合成工艺优化、电子气体深度纯化和净化技术、分析检测技术、安全及环境技术。 项目通过关键研发，在槽结构设计、电解合成低氟化物有效控制、低温精馏、钢瓶处理与洁净灌装技术、三废处理等方面实现技术革新，按期顺利完成1000a/t年三氟化氮装置产业化建设和100a/t三氟化氮中试科研装置建设。 |
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研究所处阶段： |
成熟应用阶段 |
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成果转让范围： |
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成果评价方式： |
验收 |
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成果完成人： |
牛学坤，张景利，魏磊，汪建春，杨亚琴，李梅，赵纪峥，黄晓磊，王娟，高英武，张绪锐，周宪峰，酒坤，付梦月，王亚平 |
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联系方式 |
名称： |
黎明化工研究设计院有限责任公司 |
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地址： |
河南省洛阳市王城大道69号黎明化工研究设计院 |
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邮编： |
471000 |
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电话： |
0379-62301577 |
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