“基于集成电路用四甲基氢氧化铵（TMAH）制备技术”通过科技成果鉴定

信息来源：中国电子节能技术协会发布时间：2025-10-11

2025年月9月28日，中国电子节能技术协会联合工业和信息化部国际经济技术合作中心在工信部万寿路机关组织召开了由信联电子材料科技股份有限公司研发的“基于集成电路用四甲基氢氧化铵（TMAH）制备技术”科技成果评价会。评价专家委员会由工业和信息化部节能与综合利用司原司长黄利斌、科技部火炬中心原党委书记张序国、工业和信息化部安全生产司原二级巡视员任伟、北京理工大学正高级工程师李建武、中国石化长城能源化工有限公司原副总经理何祚云、中石化石油工程建设公司审计处处长屈耀明、中国电子工业科学技术交流中心有限公司总经理刘源超组成。评价委员会听取了项目完成单位的技术总结报告，审查了相关资料，经质询和讨论形成意见如下：

1. 提供的资料基本齐全，符合评价要求。

2. 该项目的关键技术及主要创新点：

（1）首创采用合金涂层技术，在钛基体形成致密保护层，达到解决石墨电极腐蚀问题、延长电极寿命至 18 个月、电流效率提升至 70%-80% 的效果。

（2）采用全氟磺酸型阳离子交换膜作为基础膜材，并辅以羧酸膜层构成复合结构，既保障了 (CH?)?N?离子的高效迁移性能，又提升了离子透过选择性，同时具备良好的耐强碱性能。

（3）采用纳滤浓缩、超滤除微粒、树脂吸附联用的三级除杂体系纯化技术，达到产品质量稳定的效果。

（4）使用四室三膜电解槽构建梯度电场技术，达到将 Na?等杂质降至 0.1ppb 以下（G4 级）、适配 28nm 先进制程及以下制程的场景应用。

（5）采用精准调控技术，对温度、电流密度等参数进行调控，达到浓度偏差≤±0.003% 的效果。

3. 该项目技术已获得国家发明专利，具有自主知识产权，已具备良好产业化应用基础。

4.评价委员会认为该项目技术达到国际先进水平，一致同意通过科技成果评价。